Luftlager
Kreuztische Mehrachssysteme
- luftgelagerten Kreuztische und Mehrachssysteme
- direktangetrieben mit Linearmotor
- abhängig von Ihrer Anwendung, mit Führungsbahnabdeckung gegen das Eindringen von Schmutz und Staub geschützt
- Hochgeschwindigkeitsanwendungen mit sehr hoher Beschleunigung und Geschwindigkeit
- als Einbaugeräte an Ihre Steuerung angepasst oder als „Stand Alone Gerät“ mit eigener Steuerung ausgestattet
- Luftgelagerte Linearachsen
- reibungs- und stick-slip freie Bewegung
- Hohe Genauigkeit sowie sehr hohe Wiederholgenauigkeit und Gleichlaufgüte
- können mit Führungsbahnabdeckung geliefert werden
- mit reibungsfreien Ausgleichszylinder EZ-2485 auch als Z-Achsen einsetzbar
- als Rundtische ohne Motor und Messsystem (passive Rundtische)
- als angetriebene Rundtische mit integriertem Motor und Messsystem (aktive Rundtische)
- Hochgenaue Achsen weisen einen Rundlauffehler radial bis zu 50 nm und axial bis zu 20 nm auf
- eignen sich auch für Zerspanungsaufgaben
- Hochgenaue und schnelllaufende Luftlagerspindeln
- für mechanische Bearbeitung oder zum Scannen
Elementarluftlager Luftlagerpads
- breites Spektrum an Standardluftlagern mit Durchmessern von 20 mm bis 500 mm
- Tragkraft sich bis zu 100 kN
- Luftlagerpads mit integrierter Absaugung für Reinraum- oder Vakuumanwendungen
- Rechteck-Luftlager, Hochgeschwindigkeitslager und vakuumvorgespannte Luftlager verfügbar
Koplanare Systeme Luftlagerkolben
- erlauben Bewegung in mehreren Freiheitsgraden
- Systeme können durch Abschalten der Versogungsluft geklemmt werden
- berührungslosen Transport dünner Substrate wie Waver, Glasplatten, Bleche
- arbeiten reibungsfrei, ohne Stick-Slip
- Gewichtskraftkompensation in Z-Achsen
- Drehdurchführungen sind für die Übergabe von Vakuum und Luft z.B. für den Einsatz in Rundtischen und Spindeln geeignet
- Kein Reibungswiderstand durch Luftlagerung
- Kein Losbrechmoment bzw. Slip-Stick- Effekt
- Wartungsfrei
- Lange Lebensdauer
- Beliebige Kombination der Medien möglich
- Auch für höhere Drehzahlen geeignet
Wälzlager
- Verfahrbereich bis 2800mm
- Auflösung von 2,5μm oder mehr
- X-Y-Z Konfiguration verfügbar
- Hohe Genauigkeit der Führungen
- Vacuum Versionen verfügbar
Direktangetriebene Motorstufen
- Verfahrbereich bis 300mm x 300mm
- Genauigkeit bis zu ±0,5μm
- Belastbarkeit bis 150kg
- Bidirektionale Wiederholbarkeit bis zu ±0,5μm
- Belastbarkeit bis 8kg
- Verfahrbereich bis 25mm
- Wiederholbarkeit ≤ 3μm
- Vacuum Versionen verfügbar
- Mit oder ohne Apertur
- Hohe Belastbarkeit bis 1000kg
- Verfahrbereich bis 200μm
- Hohe Auflösung bis zu 0,1nm
- Vacuum Versionen verfügbar
- Verschiedene Blendenöffnungen
- Reibungsloser und schneller Betrieb
- Kompaktes Design
- Verfahrbereich bis 25mm
- Hohe Belastbarkeit bis 70N
- Vacuum Versionen verfügbar
- Reibungsloser Betrieb
- Verfahrbereich ±2.5°
- Hervorragende Stabilität
- Stapelbar (1 oder 2 Drehachsen)
- Ein Controller, eine Schnittstelle für jeden Motortyp (Bipolar Stepper, DC, BLDC)
- Kompatibel mit Windows XP/Vista/7/8/10, Linux, Mac OS
- Max. Geschwindigkeit – 35000 Schritte/s (Stepper); 800000 Encoder-Zählungen pro Sekunde (DC)
- Codebeispiele für Visual Basic, C, C#, C++, Matlab, Labview, Python
Positionierung in Vakuum oder kryogener Umgebung
- Vakuum 10-6 mbar, Ausheizen bei 80°C
- Hohes Vakuum 10-7 mbar, Ausheizen bei 100°C
- Ultra Hohes Vakuum 10-9 mbar, Ausheizen bei 110°C
- Ultra Hohes Vakuum Spezial 10-10 mbar, Ausheizen bei 200°C
- Standard 77°K
- Vakuum kompatibel
- R & D 4°K
Datenschutz & Cookies-Richtlinie
