Die Nanopositionier- und Nanomessmaschine für die dreidimensionale Koordinatenmessung arbeitet in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm mit einer Auflösung von 0.1 nm. Durch eine besondere Sensoranordnung wird eine, in allen drei Koordinatenachsen abbefehlerfreie Messung gewährleistet. 

Die Messachsen von drei Miniaturinterferometern mit Planspiegelreflektor zur Längenmessung schneiden sich in dem Berührungspunkt des Antastsensors mit dem Messobjekt. Das Messobjekt liegt direkt auf einer beweglichen Spiegelecke. Die Position der Spiegelecke wird durch die drei fest angeordneten Miniaturinterferometer der Serie SP 500 erfasst. Die Positionierung der Spiegelecke erfolgt mit einem dreiachsigen elektromagnetischen Antriebssystem. Mit zwei Winkelsensoren werden die Winkelabweichungen bei der Positionierung gemessen und ausgeregelt. Das Licht von drei stabilisierten Lasern wird über Lichtwellenleiter aus der Elektronikeinheit in die Interferometerköpfe übertragen. Dadurch entsteht ein kompakter und temperaturstabiler Aufbau der Nanopositionier- und Nanomessmaschine. Das Kernstück der Elektronik ist ein digitaler Signalprozessor (DSP), der alle eingehenden Messsignale verarbeitet, die Antriebssysteme regelt und den Messablauf steuert.