Kapazitive Positionssensoren von PI sind hochdynamische Absolutsensoren, welche Auflösungen im Sub-Nanometerbereich ermöglichen. Sie zeichnen sich durch hervorragende Langzeitstabilität, hohe Phasentreue, Bandbreite und Linearität aus. Darüberhinaus sind sie für Mehrachsenmessungen (Parallelmetrologie) geeignet. Die meisten Nanopositioniersysteme von PI sind mit kapazitiven Sensoren ausgerüstet.