Unsere Wegmess-Systeme ermöglichen berührungslose Messungen mit sub-nm Auflösung.  

Die Produktpalette umfasst komplette Michelson-Interferometer (ein bis drei Strahlen) zur Längen- und Winkelmessung, und auf dem selben Messprinzip aufbauend zur Messung von Vibrationen (Vibrometer). Es können auch abgeleitete Grössen wie Kraft und Druck gemessen werden mit einem entsprechenden Messaufbau.
Diese Geräte basieren auf miniaturisierten Laser-Interferometern, welche fasergekoppelte HeNe Laser als Lichtquelle einsetzen. Dank hochpräziser Frequenzstabilisierung und der Wellenlängen-Korrektur mittels Messung der Umweltparameter (Luft-Temperatur, -Druck, -rel. Feuchte) können sehr präzise Messresultate erzielt werden. Es ist allerdings zu beachten, dass die Anforderungen an das Messlabor sehr hoch sind, wenn im nm-Bereich Messungen gemacht werden.

Als komplette Nano-Messmaschine hat die NNM-1 einen Messbereich von 25x25x5mm mit einer Auflösung von 0.1nm! Alle 3 Achsen werden mit integrierten Interferometern vermessen und geregelt.

Zur Integration in Regelkreise bieten wir für OEM Kunden kapazitive Sensoren an mit Messbereichen bis zu einigen 100µm. Diese werden auch in unsern Nano-positioniersystemen von PI eingesetzt.