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Nanopositioniersysteme mit Piezoantrieben und reibungsfreien Flexure-Führungen (PZT-Tische) sind konventionellen Positioniersystemen in Dynamik, Auflösung, Reproduzierbarkeit und Führungsgenauigkeit deutlich überlegen.
PI ist der führende Anbieter piezoelektrischer Nanopositionier- und Scansysteme sowohl bei Standard-Ausführungen als auch bei kundenspezifischen Lösungen.
Typischerweise besteht ein solches Komplettsystem aus einer Mechanik mit integriertem (evt. hebel-übersetztem) Piezo-Stack, kapazitiven Positionssensoren, Elektronik und Software. Unsere Software-Pakete beinhalten eine Benutzeroberfläche zur einfachen Inbetriebnahme und Parameter-Tuning sowie DLLs und Treiber für zB LabView™ oder andere gebräuchliche Programmiersprachen.
| Kompakte geregelte Ein-, Zwei- und Dreiachsentische mit DMS-Sensoren |
Modulare Mehrschsentische, serielle Kinematik, mit kapazitiven Sensoren |
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Mehrachsentische, Parallelkinematik, mit Parallelmetrologie |
Objektiv-Nanofokussiersysteme |
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